Lehrstuhl für Technische Elektronik
Technische Universität München (TUM) - Arcisstr. 21 - 80333 München

Die Halbleitertechnologie und der Reinraum am LTE

Unsere Kompetenz: Dünne Schichten, neuartige Bauelemente und Carbon

Ausschnitt des Klasse 1000 Reinraums mit Eingang zum Gelblichtraum.
Studenten und Betreuer beim Praktikum "Technologie der Halbleiterbauelemente" im Reinraum.
Abscheidung dünner Schichten mittels Elektronenstrahlverdampfen.
Gelblichtraum mit Maskaligner und Spincoater.
Belacker RC8 von Carl Suess.
Mask Aligner Carl Suess MJB 55.
Mask Aligner Carl Suess MJB 3.
Alcatel RF-Magnetron Sputteranlage A450 für Metalle.
Abscheidung von Nitriden/Oxide aus der Gasphase: Inotherm LPCVD.
Elektronenstrahl und Tiegelverdampfer L560 von Leybold Heraeus.
Oxidationsofen ATV PEO 603.
Plasma Asher Technics Plasma 100-E.
Reaktives Ionestrahlätzsystem TEPLA R.I.B. Etch 250.
Alcatel RF-Magnetron Sputteranlage A450 für Dielektrika.
Rapid Thermal Prototyping (RTP) mit dem ATV SRO 702/704.