Lehrstuhl für Technische Elektronik
Technische Universität München (TUM) - Arcisstr. 21 - 80333 München

Analyse und Messtechnik am LTE

Unsere Stärke: Maßgeschneiderte Messtechnik für neuartige Bauelemente und Schaltungen.

Magneto-optisches Laser-Scanning Kerr-Mikroskop.
Charakterisierung von nanomagnetischen Strukturen, Hysteresemessungen und Pulsbetrieb für Remanenzmessungen im sub-Mikrosekundenbereich.
Rasterkraftmikroskop Dimension Icon von Bruker AXS.
Alle gängigen Standard Scan-Modi. Einzigartig ist das selbst gebaute Magnetfeldmodul zur geregelten Generation von 3D Feldvektoren in der Messebene bis 100 mT Amplitude.

Details zum 3D Magnetfeldmodul speziell für den MFM Modus.


Kiermaier et al., "Variable and fast response 3D magnetic field module for magnetic force microscopy.", et al., ISPM, Garching, Munich, 2011.
Micrion 9500EX Focused Ion Beam Gerät.
Mit 8'' Waferkammer, automatisierbaren Lithographieroutinen sowie Ätzgasen (Chlor, XeF2), Isolator- (TEOS) und Metallabscheidung. Ga Ionenquelle mit 50kV Beschleunigungsspannung mit einem nominellen Strahldurchmesser von 5 nm. 6-axige, automatisierte Probenbühne mit sub-Mikrometer Anfahrgenauigkeit.

Der fokusierte Ionenstrahl als vielseitiges Forschungsinstrument.
Rasterelektronenmikroskop (REM) Hitachi S-4500.
Rasterelektronenmikroskopie mit Kühlfalle, manueller 5-achsiger Probenbühne, Chamberscope, Rückstreu- und Sekundärelektronendetektoren. Hochauflösende Strahlsteuerung durch nachgerüstetes Diss5®-Modul der Point Electronic GmbH.
Hall-Messplatz.
Dynamische Hallmessungen mit bis zu 1T/s Anstiegszeit des PID-geregelten Elektromagneten. Der Messplatz ist optimiert für den außergewöhnlichen Hall-Effekt in ferromagnetischen Materialien. Auflösung bis ca. 10 nV /√Hz; durch rauscharmen Differenzverstärker und Lock-In Messtechnik.
Präzise Drehung der Probe über Schrittmotor speziell adaptiert für winkelabhängige Messungen.
Forschungsmagnet Bruker.
Homogene Magnetfelder (z.B. für Hall-Messungen) bis 40kG im 5 mm Spalt. Speziell angepasste Nadelkarten für Hall-Messungen auf Halbleiterproben. Präziser, drehbarer Probenhalter für arbiträre Feldwinkel.
Waferprober Teledyne.
Halbautomatische Charakterisierung von Halbleiterbauelementen, 4-Punkt-Messungen und on-chip LCR Messungen.
Waferprober Wentworth.
Automatisierbare Charakterisierung von Halbleiterbauelementen und Schaltungen auf 8'' Wafern mit Nadelkarten oder Einzelnadeln. Temperaturgeregelter Chuck.
Weitfeld Kerr-Mikroskop basierend auf einem Carl-Zeiss Axio-Imager.
Auswertung/Analyse von nanomagnetischen Strukturen. Variable Magnetfelderzugung über Elektromagnet, Mikroluftspule oder on-chip Spulen für Pulszeiten von Sekunden bis in den submikrosekunden Bereich.
Umschaltverhalten eines Co/Pt Nanomagnetarrays bei Magnetfeldpulsen von 2 µs Dauer.
Weißlicht Reflektometer NanoCalc-2000 UV-VIS zur Schichtdickenmessung.
Olympus Mikroskop mit Mikroskopkamera. Hochauflösendes Mikroskop mit bis zu 2000-facher Vergrößerung. Hellfeld, Dunkelfeld und Durchlicht-Option. Umfangreiche Software zur Datenanalyse und Vermessung.