Lehrstuhl für Technische Elektronik
Technische Universität München (TUM) - Arcisstr. 21 - 80333 München

Die Halbleitertechnologie am LTE

Aufbau

Der Lehrstuhl für Technische Elektronik betreibt seit Mitte der 80'er Jahre eine Halbleitertechnologie. Auf 80 m² Reinraumfläche (Klasse 1000) können sehr flexibel und vielseitig laterale und vertikale Strukturen erzeugt werden. Neben Standarbauelementen zur Technologieevaluation forschen wir an Demonstratoren neuartiger Bauelemente, magnetischen Dünnschichten für Logikanwendungen und Carbon-Strukturen für die Nanotechnologie. Dazu stehen uns weitere 240 m² Laborfläche zur Schichtabscheidung/Dotierung/Oxidation und 250 m² Laborfläche für Metrologie und elektrische/optische/magnetische Analyse zur Verfügung.
Ziel ist es, neuartige Materialien, Strukturen und physikalische Effekte auf deren Einsatz in Bauelementen zu testen und die schaltungstechnisch relevanten Parameter für die Systemsimulation zu bestimmen.

Prozesstechnik


Im Rahmen der Prozesstechnik stehen uns eine Vielzahl hochwertiger Geräte zur Verfügung.


Analytik und Messtechnik

Für die Analytik und Messtechnik stehen uns folgende Geräte zur Verfügung.

Kooperationen

Momentan bestehen feste Kooperationen, beispielsweise mit dem Fachgebiet HES von Prof. Kreupl, aber auch lose Verbünde mit einzelnen Lehr- und Forschungseinheiten, auch außerhalb der Fakultät EI. Wir bieten unsere Dienste je nach Möglichkeit innerhalb der TU an. Bei Interesse lassen Sie sich von uns beraten, wir freuen uns über Ihre Anfrage.


Unter Bezugnahme auf § 19 Abs. 2 VOL/A und Nr. 5.7.1 Abs. 1 Satz 6 HvR 2011/2012 veröffentlichen wir hier erteilte Aufträge für die Dauer von 3 Monaten.